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真空炉使用维护操作规程，建立真空炉运行记录和修理档案，统计运行累积工作时间，加强真空炉日常维护，掌握设备技术状态变化趋势，及早发现故障损坏苗头，避免属于事故抢修性质的维修，并根据真空炉工作负荷和运行状况，提前有针对性地准备真空炉修理用零部件，真空炉运行维护方案。如真空炉加热元件的使用寿命长短与工作温度、真空炉内产品介质、产品数量及操作情况等许多因素有关，在每天24小时加工生产的情况下，真空炉加热元件和隔热屏的更换大约每两三年进行一次．这取决于钎焊工作的类型和使用次数。真空炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置的真空炉在才次使用时真空炉泄漏故障比较易发生。这时间就必须进行真空检漏，真空检漏一般采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，1Omin后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次（进行烘炉）。
在真空系统检漏时，除临时应急维修用真空泥糊堵外，有氦质谱检漏仪可用氦质谱检漏仪进行真空检漏，如没氦质谱检漏仪可用医用针管吸丙酮或乙醚射到所怀疑的漏点处，观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，进行检漏。找到漏点以后进行维修（一般密封圈老化比较多），定时检查真空炉的滑阀泵、罗茨泵、维持泵、扩散泵油，如发现油遇水乳化，真空下跌，必须更换上面4个泵油，应每周检查一次油位和油的质量。扩散泵油油扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。
