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真空退火炉设备以淬火之钢铁材料经回火处理时，因急冷、急热或组织变化之故而产生之裂痕，称之为回火裂痕。常见之高速钢、SKD11模具钢等回火硬化钢在高温回火后急冷也会產生。此类钢材在一次淬火时產生一次麻田散体变形，回火时因淬火产生二次麻田散体变形（残留沃斯田体变形成麻田散体），而产生裂痕。因此要防止回火裂痕，是自回火温度作徐徐冷却，同时淬火再回火的作业中，亦应避免提早提出回火再急冷的热处理方式。
会产生回火变形的主要原因为回火之际退火炉产生的残留硬力或组织变化导致，亦即因回火使张应力消除而收缩、压应力的消除而膨胀，包括回火初期析出e碳化物会有若干收缩、雪明碳铁凝聚过程会大量收缩、残留沃斯田铁变形成麻田散铁会膨胀、残留沃斯田铁变形成变韧铁会膨胀等，导致回火后工件的变形。
防止的方法包括：
（1）实施加压回火处理
（2）利用热浴或空气淬火等减少残留应力
（3）用机械加工方式矫正及（4）预留变形量等方式。
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