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真空退火炉分罩式和塔式，罩式又分连续式和单罩和双罩式。选用的材料有轻质粘土砖、高铝浇注料、耐火纤维、高铝砖等。
罩式退火炉结构为外罩、内罩和炉台。炉台是整个炉子的底座，是固定不动的。烧嘴分布在炉台的两侧，为了使炉温天然免疫，用的是小烧嘴。烧嘴前有高铝砖挡砖，防止火焰喷到内罩上。
内外两罩与炉台是密封的，炉罩两侧用石棉板、硅藻土砖或是轻质粘土砖，外面用钢架加固。罩子的下缘用耐火纤维，以此来密封槽下通水冷却，这样可延长使用寿命。炉台下部用轻质粘土砖做基础，也可以用轻质浇注料做隔热层。
塔式退火炉内衬一般用230mm厚的轻质粘土砖砌筑。近年来，在塔式冷却室广泛采用喷吹冷却器，消除了水直接冷却的一些缺点，达到板面光亮和板形整齐，在炉子的入口入用耐火纤维制成密封的。但是用轻质粘土砖退水直接侵蚀承受不了，用高铝浇注料可以避免水创冷的侵蚀，但高铝浇注料要水泥量稍大些，这样，能防止水直接冷却，另外高铝浇注料必须烘烤合理，把结晶水排出，完全能抵制水直接冷却时脱落。
需要注意的是，高铝浇注料烘烤时间不能低于5天，严格按照高铝浇注料的烘烤曲线进行烘烤，就完全能抵御水直接冲刷的侵蚀。
塔式退火炉进行光亮处理后，采用高纯度高铝砖砌筑不与氢发生作用，不会污染保护气体，砌筑方式为在炉子的低部几层采用优质高铝砖，隔热部位用轻质粘土砖。因轻质粘土砖能增加炉子的吹刷放散时间。
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