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在真空退火炉设备检漏时，除暂时应急维修用真空泥糊堵外，有氦质谱检漏仪可用氦质谱检漏仪进行真空检漏，如没氦质谱检漏仪可用医用针管吸丙酮或乙醚射到所怀疑的漏点处，调查真空表读数有无变化。也可制造留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，进行检漏。找到漏点今后进行维修（一般密封圈老化比较多），守时检查真空炉的滑阀泵、罗茨泵、保持泵、分散泵油，如发现油遇水乳化，真空跌落，有必要更换上面4个泵油，应每周检查一次油位和油的质量。分散泵油油分散泵有积炭可用化学酸洗的办法清洗。真空炉温度规模广，加热元件多种可选，例如石墨、钼、钨、感应加热等，在适宜的保护气氛中，温度可达2800℃，可适应不同材料的热压烧结；
多样化真空系统配置，根据工艺挑选不同等级的真空度；设有充放气系统，既能够挑选在真空环境中进行热压烧结，也能够挑选在惰性气氛或复原气氛中进行热压烧结；人性化配置，既能够手动操作，也能够实现智能操作；一炉多用，可作为单纯的真空或气氛烧结炉运用； 真空炉选要根据所要热处理的零件化学成分和加热温度实现须满足金属氧化物与一氧化碳平衡分.解压的关系并且要考虑一定的余地，不要寻求高的真空度，真空度过高不只会形成合金元素的挥发，并且会形成设备的配置进步投资费用增加。
冷却形式：真空炉的冷却有油冷和气冷。目前主要以气冷为主，因为气冷对热处理零件无任何污染和不良影响，油冷有外表微渗碳问题对质量有影响。处理后零件外表洁净不需要清洗。所以在满足冷.却速度的条件下一般以气冷淬火作为优先。气冷的冷.却速度主要受气压、流速与气流的形式和散布等因素的影响，在进行挑选时要.全.面考虑。一般情况气压高、流速大、冷.却速度快，即冷.却速度是直接受到气压和流速的影响。别的气冷时换热器冷.却水的流量大小对于实际冷.却有明显的影响。
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