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真空退火炉设备彻底消除了加热过程中工件表面的氧化、脱碳，可获得无变质层的清洁表面。这对于那些在刃磨时仅磨一面的刀具（如麻花钻磨削后使沟槽表面的脱碳层直接暴露于刃口）切削性能的改善关系大。 对环境无污染，不需进行三废处理。 真空炉炉温测定、监控精度明显进步。热电偶的指示值与炉温温度达到±1.5°c。但炉内大批工件不同部位的温差较大，若选用稀薄气体强制循环，仍可控制在±5°c温差范围内。 机电一体化程度高。在温度测控精度进步的基础上，工件移动、气压调理、功率调理等均可预先编程设定，按步骤实施淬火和回火。 能耗明显低于盐浴炉。现代先进的真空炉加热室选用优质隔热材料制成的隔热墙和屏障，可将电热能量高度集中于加热室内，节能效果明显。
真空炉用途广泛，炉型系列较多，这里以介绍周期作业式预抽真空炉为主。该类型真空炉由钢板和型钢组焊制成井式或箱式炉壳，炉衬选用节能型复合纤维或全纤维保温结构，电热元件选用耐高温电阻合金元件布置于炉膛四周，炉罐选用耐高温不锈钢板自动密焊卷制，炉盖选用双水冷真空橡胶密封不锈钢内保温炉盖。根据工艺需求配置真空密封风机。预抽真空炉内可装备冷却系统，将炉内热氮抽出接冷氮进罐快冷循环系统。
真空退火炉的适用范围：铍铜、冲压件、屏蔽罩、不锈钢、白铜、洋白铜、黄铜、紫铜、金属弹片、锡磷青铜、铆合件、铆钉、银接点、银铜复合片、铜触点、双金属片、银触点等领域，产品热处理外表面色彩不氧化。
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