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运用磁控溅射镀膜仪对环境有什么要求吗？
由于要在特定条件下，因而磁控溅射镀膜仪要满意真空对环境的要求。拟定的各种磁控溅射镀膜仪的行业规范(包括磁控溅射镀膜仪通用技能条件、真空离子镀膜设备、真空溅射镀膜设备、真空蒸发镀膜设备)都对环境要求作了明确规定。只有满意了真空电镀机对环境的要求，能使该设备正常运转，加上正确的镀膜工艺，方能生产出合格的镀膜产品。
磁控溅射镀膜仪对环境的要求，一般包括真空设备对地点实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求，和对处于真空状况或真空中的零件或外表要求两个方面。这两个方面是有密切联系的。
周围环境的好坏直接影响真空设备的正常运用;而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗，又直接影响设备的功能。如果空气中含有大量的水蒸气和尘土，在真空室没有通过清洗的情况下用油封机械泵去抽气，要到达预期的真空度很难的。众所周知，油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反响的以含有颗粒尘土的气体。水蒸气为可凝性气体，当大量抽除可凝性气体时，对泵油的污染会愈加严峻，结果使泵的极限真空下降，破坏了泵的抽气功能。口巨业环境中的粉尘是以粉状体、眼无题、粉尘来区别的。粉状体是粉末或固体颗粒的调集或分散状况的物质。所谓粉末是指细小的固体颗粒的调集，而颗粒是指能够一个一个计数的细小物质。烟雾体是以固体或液体的细小颗粒呈浮状况存在于气体中的物质体系。物质无论是固体还是液体，凡是呈颗粒状况均可统称为尘粒。以尘粒直径的巨细来确定空气清洁度的规范，从而定制出洁净室的等级。不仅适合于有洁净要求的口巨业部门，也适合于真空对洁净环境的要求。
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