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磁控溅射设备的原理是什么?
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网址:www.syhshy.net
地址:沈阳市和平区文体西路23号
磁控溅射设备的原理是什么?
2020-07-17 08:26:58
磁控溅射系统的原理是稀薄气体在反常辉光 放电发生的等离子体在电场的效果下,对阴极靶 材外表进行炮击,把靶材外表的分子、原子、离子 及电子等溅射出来,被溅射出来的...
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