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束源炉在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀,蒸镀法的加热方式有电流加热、电子束加热、辐射加热等，当蒸发源达到蒸发温度后，会以分子、原子或团簇等自由程较大的状态出现，这些粒子遇到温度较低的基底时就会就会沉积形成薄膜，蒸镀法有纯度高
