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分类：磁控溅射设备

磁控溅射设备能有效的提高表面硬度、复合耐性

2021-11-20

磁控溅射设备各种功用性薄膜：如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等效果的薄膜。例如，低温堆积氮化硅减反射膜，以提高太阳能电池的光电转化功率。装饰领域的使用，如各种全反射膜及半透明膜等，如手机外壳，鼠标等。在微电子领域作为一种非热式镀膜技能，主

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磁控溅射设备大规模使用问题

2021-11-19

磁控溅射设备的作业原理是指电子在电场E的效果下，在飞向基片进程中与氩原子发生磕碰，使其电离发生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场效果下加速飞向阴极靶，并以高能量炮击靶外表，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子

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磁控溅射设备大幅度地进步涂层产品的使用寿命

2021-11-18

磁控溅射设备各种功能性薄膜：如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等效果的薄膜。例如，低温堆积氮化硅减反射膜，以进步太阳能电池的光电转化效率。装修范畴的使用，如各种全反射膜及半通明膜等，如手机外壳，鼠标等。在微电子范畴作为一种非热式镀膜技能，

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磁控溅射设备具有“高速”“低温”的长处

2021-11-17

磁控溅射设备就是在真空中使用荷能粒子炮击靶外表，使被炮击出的粒子沉积在基片上的技能。通常，使用低压惰性气体辉光放电来发生入射离子。阴极靶由镀膜资料制成，基片作为阳极，真空室中通入0.1-10Pa的氩气或其它惰性气体，在阴极（靶）1-3KV直

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真空退火炉设备温度规模广,加热元件多种可选

2021-11-16

在真空退火炉设备检漏时，除暂时应急维修用真空泥糊堵外，有氦质谱检漏仪可用氦质谱检漏仪进行真空检漏，如没氦质谱检漏仪可用医用针管吸丙酮或乙醚射到所怀疑的漏点处，调查真空表读数有无变化。也可制造留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，进行检漏

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磁控溅射设备首要使用在化学气候堆积上

2021-11-15

磁控溅射设备是在两极溅射的基础上开发的。在靶资料的外表上树立与电场正交的磁场。它解决了低两层溅射堆积速率和低等离子体电离速率的一阶问题，这已成为现在的涂层。重要的职业办法之一。与其他涂层技能比较，磁控溅射具有以下特色：可以将多种资料制

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