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分类：磁控溅射设备

了解一下磁控溅射设备的工作原理

2022-05-06

了解一下磁控溅射设备的工作原理磁控溅射设备用磁控靶源溅射金属和合金很简单，点火和溅射很便利。这是由于靶（阴极），等离子体和被溅零件/真空腔体可构成回路。但若溅射绝缘体（如陶瓷），则回路断了。于是人们采用高频电源，回路中加入很强的电容，这样在

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磁控溅射设备的实际操作很难

2022-05-06

磁控溅射设备的实际操作很难磁控溅射设备溅射绝缘子好像很容易，但实际操作却很困难。主要问题是该反响不只发生在零件的外表上，而且发生在阳，真空腔的外表和方针源的外表上，这会导致救活，方针源和外表起弧工件。德国莱比锡发明的双靶技术很好地处理

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磁控溅射设备化学稳定性好

2022-04-09

磁控溅射设备当入射离子的能量低于某一临界值(阀值)时，不会发作溅射;溅射原子的能量比蒸发原子的能量大许多倍;入射离子的能量很低时，溅射原子角散布就不完整契合余弦散布规律。角散布还与入射离子方向有关。从单晶靶溅射出来的原子趋向于集中在晶体密度

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磁控溅射设备的镀膜均匀

2022-04-09

磁控溅射设备技术发展过程中各项技术的突破一般集中在等离子体的产生以及对等离子体进行的控制等方面。通过对电磁场、温度场和空间不同种类粒子分布参数的控制，使膜层质量和属性满足各行业的要求。膜厚均匀性与磁控溅射靶的工作状态息息相关，如靶的刻蚀状态

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磁控溅射系统的设计方法

2022-03-10

磁控溅射系统是现代工业中必不可少的技术之一。磁控溅射镀膜技术被广泛应用于透明导电膜，光学膜，超硬膜，防腐膜，磁性膜，抗反射膜，抗反射膜和各种装饰膜，在国防和国防领域日益强大和重要。经济生产。在实际生产中，诸如膜厚均匀性，沉积速率和涂布

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磁控溅射系统有哪些种类？

2022-03-09

磁控溅射系统的工作原理是电子在电场E的作用下飞向衬底的过程中与氩原子发生碰撞，并使它们电离产生Ar正离子和新电子。Ar离子在电场的作用下加速到阴极靶，并以高能轰击靶表面，从而使靶材料溅射。磁控溅射镀膜仪厂家带您了解更多信息！

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