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分类：磁控溅射设备

磁控溅射系统的多种类型

2020-07-17

磁控溅射系统包括许多类型，每个都有不同的工作原理和应用对象。但是，它们有一个共同点：磁场和电场之间的相互作用导致电子在目标表面附近盘旋，从而增加了电子撞击氩气产生离子的可能性。产生的离子在电场的作用下撞击靶表面并溅射靶材料。目标源分为平

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磁控溅射系统的原理

2020-07-17

磁控溅射系统的原理是在电场的作用下，稀薄气体的异常辉光放电产生的等离子体会轰击阴极靶的表面，并从靶表面溅射出分子，原子，离子和电子。溅射的粒子携带一定量的动能，并在一定方向上朝向基板的外表面射出，从而在基板的表面上形成涂层。溅射涂层开始

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磁控溅射系统新发展趋势

2020-07-17

一般而言，增强系统某一部分的功能将带来整体功能的增强，同时减少系统对某些部分的依赖，或者可以理解为：两个必要因素该系统有机地合并为一个部分。建立一个全面的设计系统有助于研究系统各个部分的内部逻辑关系。溅射技术的出现和应用经历了许多阶段。

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磁控溅射系统的设计方法

2020-07-17

磁控溅射系统是现代工业中必不可少的技术之一。磁控溅射镀膜技术被广泛应用于透明导电膜，光学膜，超硬膜，防腐膜，磁性膜，抗反射膜，抗反射膜和各种装饰膜，在国防和国防领域日益强大和重要。经济生产。在实际生产中，诸如膜厚均匀性，沉积速率和涂布

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磁控溅射系统的主要用途有哪些？

2020-07-17

磁控溅射系统的主要用途（1）各种功能性薄膜：具有吸收，透射，反射，折射和偏振功能的薄膜。例如，在低温下沉积氮化硅抗反射膜以提高太阳能电池的光电转换效率。（2）在装饰领域的应用，例如各种全反射膜和半透明膜，例如手机壳，鼠标等。（3）作为微电

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磁控溅射系统被广泛应用

2020-07-17

磁控溅射系统已被大量应用的领域，还在高温超导薄膜、铁电体薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池、记忆合金薄膜研究方面发挥重要作用。（1）各种功能性薄膜：如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如，低温沉积氮化硅减反射膜，以提高

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