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磁控溅射镀膜仪的镀膜均匀
2022-11-10
磁控溅射镀膜仪技术发展过程中各项技术的突破一般集中在等离子体的产生以及对等离子体进行的控制等方面。通过对电磁场、温度场和空间不同种类粒子分布参数的控制,使膜层质量和属性满足各行业的要求。膜厚均匀性与磁控溅射靶的工作状态息息相关,如靶的刻蚀状
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磁控溅射镀膜仪靶材的设计改进
2022-11-08
由于磁控溅射镀膜仪的难点是靶材表面的磁场达不到正常磁控溅射时要求的磁场强度,因此解决的思路是增加铁磁性靶材表面剩磁的强度,以达到正常溅射工作对靶材表面磁场大小的要求。实现的途径主要有以下几种:a、靶材设计与改进b、增强磁控溅射阴极的磁场c、
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运用磁控溅射镀膜仪对环境有什么要求吗
2022-11-03
运用磁控溅射镀膜仪对环境有什么要求吗?由于要在特定条件下,因而磁控溅射镀膜仪要满意真空对环境的要求。拟定的各种磁控溅射镀膜仪的行业规范(包括磁控溅射镀膜仪通用技能条件、真空离子镀膜设备、真空溅射镀膜设备、真空蒸发镀膜设备)都对环境要求作了明
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磁控溅射镀膜仪在颗粒状表面运行是否可行
2022-09-22
随着科技的发展,使用磁控溅射镀膜仪对颗粒状物体镀膜已经不再是一件难事。特别是在颗粒状金属物体表面使用镀膜技术已经相当成熟。这是应为颗粒物体表面积能都比较大,其之间能够容易进行团聚,曲率半径却是小的,因此在颗粒状物体表面上使用磁控虽然可行,但
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磁控溅射镀膜仪常见故障及解决办法
2022-08-18
磁控溅射是物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition,PVD)的一种,磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。磁控溅射镀膜工艺在日常操作过程中有哪些常见的故障呢?磁控溅
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磁控溅射镀膜仪的维护
2022-07-21
对于磁控溅射镀膜仪来说,做好相关的维护工作是非常重要的,那么磁控溅射镀膜仪如何做好维护工作呢?1,根据自动磁控溅射镀膜仪运行状态的需要,对自动磁控溅射镀膜仪进行动态管理,确保能够满足磁控溅射镀膜仪的需要。特别要注意自动磁控溅射镀膜仪和进口设
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